Nanotechnology · 2011
Fabrication of cone-shaped boron doped diamond and gold nanoelectrodes for AFM-SECM.
СтатьяПоддержка исследования: вне правительства СШАНазвание и аннотация: Перевод в очереди
Обработка статьи · этапы, ошибки и управление
Загрузка состояния…
Ошибки и ограничения
История · было → стало
Состояние обновляется каждые 5 секунд, пока блок открыт. Процент показывается только там, где известен объём работы. Пауза останавливает продолжение этапа; текущий запрос к источнику может завершиться.
Avdic A, Lugstein A, Wu M, Gollas B, Pobelov I, Wandlowski T, Leonhardt K, Denuault G, Bertagnolli E
Аннотация
We demonstrate a reliable microfabrication process for a combined atomic force microscopy (AFM) and scanning electrochemical microscopy (SECM) measurement tool. Integrated cone-shaped sensors with boron doped diamond (BDD) or gold (Au) electrodes were fabricated from commercially available AFM probes. The sensor formation process is based on mature semiconductor processing techniques, including focused ion beam (FIB) machining, and highly selective reactive ion etching (RIE). The fabrication approach preserves the geometry of the original AFM tips resulting in well reproducible nanoscaled sensors. The feasibility and functionality of the fully featured tips are demonstrated by cyclic voltammetry, showing good agreement between the measured and calculated currents of the cone-shaped AFM-SECM electrodes.