Microscopy (Oxford, England) · 2013
A new grating X-ray spectrometer for 2-4 keV enabling a separate observation of In-Lβ and Sn-Lα emissions of indium tin oxide.
СтатьяПоддержка исследования: вне правительства СШАНазвание и аннотация: Перевод в очереди
Обработка статьи · этапы, ошибки и управление
Загрузка состояния…
Ошибки и ограничения
История · было → стало
Состояние обновляется каждые 5 секунд, пока блок открыт. Процент показывается только там, где известен объём работы. Пауза останавливает продолжение этапа; текущий запрос к источнику может завершиться.
Terauchi Masami, Takahashi Hideyuki, Handa Nobuo, Murano Takanori, Koike Masato, Kawachi Tetsuya, Imazono Takashi, Hasegawa Noboru, Koeda Masaru, Nagano Tetsuya, Sasai Hiroyuki, Oue Yuki, Yonezawa Zeno, Kuramoto Satoshi
Аннотация
A new multilayer-coated varied line-spaced grating, JS4000, was fabricated and tested for extending the upper limit of a grating X-ray spectrometer for electron microscopy. This grating was designed for 2-3.8 keV at a grazing incidence angle of 1.35°. It was revealed that this new multilayer structure enables us to take soft-X-ray emission spectra continuously from 1.5 to 4.3 keV at the same optical setting. The full-width at half maximum of Te-L(α1,2) (3.8 keV) emission peak was 27 eV. This spectrometer was applied to indium tin oxide particles and clearly resolved Sn-L(α) (3444 eV) and In-L(β1) (3487 eV) peaks, which could not be resolved by a widely used energy-dispersive X-ray spectrometer.