Journal of microscopy · 2000
Microcalorimeter energy-dispersive spectrometry using a low voltage scanning electron microscope.
СтатьяНазвание и аннотация: Перевод в очереди
Обработка статьи · этапы, ошибки и управление
Загрузка состояния…
Ошибки и ограничения
История · было → стало
Состояние обновляется каждые 5 секунд, пока блок открыт. Процент показывается только там, где известен объём работы. Пауза останавливает продолжение этапа; текущий запрос к источнику может завершиться.
Wollman DA, Nam SW, Hilton GC, Irwin KD, Bergren NF, Rudman DA, Martinis JM, Newbury DE
Аннотация
We describe the current performance of the prototype microcalorimeter energy-dispersive spectrometer (&mgr;cal EDS) developed at NIST for X-ray microanalysis. We show that the low-energy &mgr;cal EDS, designed for operation in the energy range 0.2-2 keV, offers significant advantages for low-beam-energy microanalysis. We present several examples in which the prototype &mgr;cal EDS has been used to solve problems in low-voltage microanalysis, including the analysis of tungsten silicide (WSi2), titanium nitride (TiN) and barium titanate (BaTiO3) and the measurement of chemical shifts in Fe and C compounds.