Optics letters · 2026
Multi-NA metalens array for compact high-NA microscopy.
СтатьяНазвание и аннотация: Перевод в очереди
Обработка статьи · этапы, ошибки и управление
Загрузка состояния…
Ошибки и ограничения
История · было → стало
Состояние обновляется каждые 5 секунд, пока блок открыт. Процент показывается только там, где известен объём работы. Пауза останавливает продолжение этапа; текущий запрос к источнику может завершиться.
Khalilian Alireza, Fan Jie, Serhan Mohammad, Yeganeh Mehdi Sh, Lo Joe Fujiou, Yi Yasha
Аннотация
Compact visible-band microscopy benefits from co-planar metalenses that integrate multiple numerical apertures on a single platform. Here, we demonstrate a silicon-rich nitride (SRN) metalens array operating at 660 nm, uniting NA = 0.54/0.92/0.97 within one chip. Device-level characterization confirms tight focal confinement and high focusing efficiency, arising from our tailored PECVD SRN that provides a high, tunable refractive index with low absorption. Fluorescence imaging of AF647-tagged endothelial monolayers verifies functional readiness, and the wafer-scalable process supports compact, high-NA modules for integrated bio-imaging systems.