Micromachines · 2026
Editorial for the Special Issue on Recent Advances in Lithography.
Редакционная статьяНазвание и аннотация: Перевод в очереди
Обработка статьи · этапы, ошибки и управление
Загрузка состояния…
Ошибки и ограничения
История · было → стало
Состояние обновляется каждые 5 секунд, пока блок открыт. Процент показывается только там, где известен объём работы. Пауза останавливает продолжение этапа; текущий запрос к источнику может завершиться.
Li Sikun, Wei Yayi, Zhang Hanzhi, He Jibin, Peng Xianhao
Аннотация
Integrated circuits (ICs) constitute the fundamental hardware platform for modern information technology systems, enabling critical applications such as artificial intelligence, smartphones, computing systems, robotics, aerospace technologies, and the Internet of Things [...].