Analytical chemistry · 2025
Astigmatic Displacement Microscopy (ADM) with Subnanometer Axial Resolution for Three-Dimensional (3D) Morphological Characterization.
СтатьяНазвание и аннотация: Перевод пока не подготовлен
Обработка статьи · этапы, ошибки и управление
Загрузка состояния…
Ошибки и ограничения
История · было → стало
Состояние обновляется каждые 5 секунд, пока блок открыт. Процент показывается только там, где известен объём работы. Пауза останавливает продолжение этапа; текущий запрос к источнику может завершиться.
Ren Dou-Dou, Ma Fei-Cen, Yang Rui-Lin, Zhou Dan, Zhang Bi-Qin, Zhou Hui-Qin, He Xiao, Zhang Jiang-Hua, Wang Wei-Bing, Shang Yihua, Li Heng-Hua, Dang Xiao-Chen, Sun Chun-Lin, Zhang Haijun, Zhang Yuewen, Pu Qiaosheng, Zeng Zhi-Cong
Аннотация
In response to the growing demand for advanced micro/nano characterization in materials and surface-interface sciences, we report a highly sensitive astigmatism displacement microscopy (ADM) system with subnanometer axial resolution of 0.1 nm. This low-power, noncontact, nondestructive, and rapid optical 3D imaging technique enables large-area characterization with exceptional imaging quality. Using ADM, we achieved high-quality 3D morphology characterization of Au nanoplates, CD-ROMs, semiconductor Si wafers, and few-layer 2D materials (like MoS2). For few-layer 2D materials, ADM demonstrates a linear capability to resolve atomic layer numbers. Additionally, ADM successfully characterized transparent and semitransparent single crystals, even in the presence of inclination-induced interference fringes. The development of ADM provides a powerful tool for micro/nanoscale characterization, with significant implications for materials and surface-interface research.